技術(shù)亮點
PGI輪廓儀采用先進的非接觸式白光干涉(White Light Interferometry, WLI)技術(shù),結(jié)合高精度的Z軸掃描系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級的垂直分辨率。其核心優(yōu)勢在于:
高分辨率與高動態(tài)范圍:PGI可在微米至毫米級的測量范圍內(nèi),實現(xiàn)表面粗糙度、輪廓、平面度、波紋度等參數(shù)的精確分析,適用于從超光滑表面到復(fù)雜幾何結(jié)構(gòu)的廣泛樣品。
快速三維成像:通過高速掃描與圖像拼接技術(shù),PGI可在短時間內(nèi)完成大面積三維表面形貌的重建,顯著提升測量效率。
多功能集成:支持多種測量模式,包括點測、線掃、區(qū)域掃描等,配合強大的分析軟件,可滿足ISO、ASME等國際標(biāo)準(zhǔn)的評定需求。
應(yīng)用領(lǐng)域
PGI輪廓儀廣泛應(yīng)用于:
半導(dǎo)體制造:用于晶圓表面缺陷檢測、薄膜厚度測量及光刻膠輪廓分析。
光學(xué)元件檢測:對透鏡、反射鏡等光學(xué)表面的面形誤差進行高精度評估。
生物醫(yī)學(xué)材料:研究植入物表面微結(jié)構(gòu)對細胞附著的影響。
科研與教育:為材料科學(xué)、納米技術(shù)等領(lǐng)域提供可靠的實驗數(shù)據(jù)支持。